Fysisk ångavsättning (PVD) är en familj av beläggningsprocesser där tunna filmer avsätts genom kondensation av en förångad form av det önskade filmmaterialet på substratet.
Denna process utförs i vakuum vid temperaturer mellan 150 och 500°C. Den genomsnittliga tjockleken på olika PVD-beläggningar är 2-5 mikron.
Typer PVD-processer inkluderar:
I den fysiska ångavsättningsprocessen, det fasta beläggningsmaterialet med hög renhet (metaller som t.ex. som titan, krom och aluminium) antingen förångas genom värme eller genom bombardering med joner (förstoftning). Samtidigt införs en reaktiv gas (t.ex. kväve eller en gas innehållande kol); den bildar en förening med metallångan och avsätts på substratet som en tunn, mycket vidhäftande beläggning. Resultatet är en mycket stark bindning mellan beläggningen och verktygssubstratet och skräddarsydda fysikaliska, strukturella och tribologiska egenskaper hos filmen.
Fördelar med PVD:
Dessa beläggningar används vanligtvis för att förbättra hårdhet, slitstyrka och oxidationsbeständighet. Således används sådana beläggningar i ett brett spektrum av applikationer såsom:
